A közvetlen{0}}leolvasási spektrométerek főként a következő négy modulra oszthatók:
Gerjesztő rendszer: Ez a rendszer különféle módszerekkel porlasztja a szilárd mintát, kibocsátva az egyes elemek emissziós spektrumát.
Optikai rendszer: Ez a rendszer feldolgozza a gerjesztőrendszer által generált összetett fényjeleket, beleértve azok válogatását, szétválasztását, szűrését és rögzítését.
Mérő- és vezérlőrendszer: Ez a rendszer méri az egyes elemeket reprezentáló karakterisztikus spektrumvonalak intenzitását, és a fényintenzitás jeleit digitális elektromos jelekké alakítja, amelyek számítógép által felismerhetők, vezérelve a teljes műszer normál működését.
Szoftver adatfeldolgozó rendszer a számítógépben: Ez a rendszer különféle algoritmikus számításokat végez az egyes csatornákról a számítógép által kapott fényintenzitási adatokon, hogy stabil és pontos mintatartalmat kapjon.
